에피웨이퍼 측정

  • 개요 +


    원격 통신 및 디스플레이 기술 모두에서 일반적으로 발생하는 전자-광학 부품 사용의 확장에 따라 에피택시는 부품 생산의 주요 기법으로 부상하고 있습니다. 에피택시는 단일 크리스탈 기층에 매우 얇은 반도체 소재 레이어를 놓는 공정입니다. 각각의 크리스탈 레이어는 에피레이어라고 합니다.

     

    계측

    표면 거칠기
    표면 텍스처는 고객과 공급업체 모두를 위한 에피택셜 반도체 품질 지정에서 절대적으로 중요합니다. 웨이퍼에 인쇄되는 회로를 더 작게 해야 하는 요건에 따라 거칠기에 대한 허용 오차는 점점 더 좁아지고 있습니다. 에피웨이퍼의 표면 마감은 nm 단위로 지정되며, 이를 측정하는 데 사용되는 매우 낮은 소음과 높은 분해능의 시스템이 필요합니다.

     

  • 브로셔들 +

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  • 응용 분야 +

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